Рентгенофлуоресцентный (РФА) микрозонд-микроскоп РАМ-30μ

Рентгенофлуоресцентный аналитический микрозонд-микроскоп

• Рентгенофлуоресцентный микроанализатор с размером рентгеновского зонда от 30 до 1000 мкм
• Элементное микрокартирование от ¹¹Na до ⁹²U
• Точность позиционирования предметного стола 10 мкм
• Просвечивающая рентгенография
• Уникальные методики исследования

Рентгенофлуоресцентный микроанализатор «РАМ-30μ» предназначен для исследования объектов методами локального элементного микроанализа с возможностью микрокартирования, просвечивающей рентгенографии и оптической микроскопии. Одновременно определяемые элементы: от ¹¹Na до ⁹²U.

• Микрофокусная рентгеновская трубка
• Поликапиллярная линза для формирования рентгеновского зонда с изменяемым размером
• Энергодисперсионный полупроводниковый детектор для локального элементного анализа
• Набор фильтров первичного излучения
• Обзорная видеокамера для выбора области анализа
• Оптический цифровой микроскоп для исследования области анализа
• Автоматизированный двухкоординатный предметный стол для позиционирования объекта и сканирования по заданной области образца (координаты X, Y)
• Перемещение аналитического узла в вертикальном направлении
• Вакуумируемая измерительная камера для анализа легких элементов
• Специализированное программное обеспечение для рентгенографических исследований, локального элементного анализа и элементного картирования

Источником первичного рентгеновского излучения является микрофокусная рентгеновская трубка (1). На выходном окне трубки смонтирован коллиматор, ограничивающий телесный угол расхождения рентгеновского излучения. Ниже располагается диск с установленными сменными фильтрами (2).

Поток рентгеновского излучения формируется поликапиллярной линзой (3). Исследуемый объект устанавливают на предметном столе (5) в фокусе поликапиллярной линзы (максимальное пространственное разрешение) или за фокусом линзы в расходящейся части потока рентгеновского излучения — в зависимости от требуемой локальности анализа. Предметный стол автоматически перемещается по осям X, Y, а измерительная система — по оси Z.

Камера видеонаблюдения (7) с объективом (6), обеспечивающим увеличение изображения до 200х (цифровой микроскоп), выводит на монитор компьютера изображение исследуемого объекта. На этом изображении «мышкой» выбирают область для анализа.

Регистрация спектров рентгеновской флуоресценции осуществляется полупроводниковым дрейфовым энергодисперсионным детектором (8).

Регистрация изображения "на просвет" осуществляется фотодиодным регистратором рентгеновского потока (9). Он измеряет интенсивность излучения, прошедшего через точку зондирования исследуемого объекта. Таким способом измеряется плотность объекта в анализируемой точке.

Объектив цифрового микроскопа, поликапиллярная линза и энергодисперсионный детектор расположены в герметичной камере (10). Для измерения легких элементов из нее можно откачать воздух компактным форвакуумным насосом для улучшения чувствительности.

Окно вакуумной камеры, через которое производится исследование флуоресценции образца, закрыто лавсановой пленкой. Исследуемая область образца размещается на минимальном расстоянии от лавсанового окна камеры, чтобы минимизировать потери низкоэнергетической части спектра рентгенофлуоресценции.