Напылительная установка Leica EM ACE200

Leica EM ACE200 - компактный настольный прибор для напыления качественных проводящих пленок с использованием драгоценных металлов: золота, золота/палладия, серебра и платины, а также недрагоценных металлов меди и никеля.

Прибор может также проводить испарение углеродной нити для создания проводящих углеродных пленок для X-rayмикроанализа (EDX, WDX) и усиленных углеродных пленок на сетках, покрытых коллодием или формваром для TEM.

Принцип работы

Задача системы Leica EM ACE200 заключается в обеспечении видимости компонентов и структуры образца при изучении посредством электронного микроскопа. Достигается она путём оттенения поверхности токопроводящим материалом. Этот процесс является нанесением на объект в условиях низкого вакуума (до 7 × 10−3 mbar) тонкой и в то же время достаточно прочной плёнки, которая характеризуется прозрачностью и химической устойчивостью, способствует улучшению электронного сигнала, точно воспроизводит особенности микрорельефа основы и отделяется от неё без разрушения.
При использовании Leica EM ACE200 напыление токопроводящего слоя осуществляется по технологии набрызгивания на поверхность образца одного из драгоценных металлов — золота, палладия, серебра или платины. Рабочим материалом могут служить и недрагоценные металлы — медь и никель. Если же EDX- или WDX-спектроскопия предполагает проведение X-rayмикроанализа или ТЕМ-исследование требует применения усиленных плёнок на покрытых коллодием либо формваром сетках, то напыление осуществляется методом испарения углеродной (графитовой) нити.

Малое время цикла

Малое время цикла достигается за счет высокопроизводительного лопастного насоса с масляным фильтром.

Планетарный столик для образцов

Столик с планетарным механизмом обеспечивает наилучшее позиционирование образца, возможность наклона столика позволяет получить максимальный эффект оттенения металлами

Регулировка давления аргона

Регулировка давления аргона и тока позволяет полностью контролировать процесс напыления для достижения наилучшего результата.