Высоковакуумная напылительная установка Leica EM ACE600

Leica EM ACE600 высоковакуумная универсальная установка напыления металлов и углеродных токопроводящих покрытий для электронной микроскопии. 

Получение однородных и проводящих металлических или углеродных покрытий для анализа FE-SEM и TEM с системой покрытий Leica EM ACE600.

• Высокий вакуум (фор. насос + турбомолекулярный насос)
• Магнетронное напыление металлов
• Резистивное испарение углерода
• Электронно-лучевое испарение (ЭЛИ)

Напыление высококачественных токопроводящих пленок методом магнетронного распыления или резистивного испарения углеродной нити или электрода и электронно-лучевого испарения (ЭЛИ).
Установка до двух магнетронов в камеру с последовательным напылением.

В полностью автоматизированной настольной системе, сконфигурированной как установка для нанесения покрытий магнетронным распылением или как напылительная установка с углеродной нитью или с электрода или ЭЛИ (e-beam), можно достичь идеально воспроизводимых результатов. Если для анализа требуются все методы, Leica Microsystems предлагает комбинированный прибор со сменными головками в одном приборе.

Различные опции:

• измерение скорости напыления и толщины по кварцевому датчику (QCM)
• планетарное вращение
• тлеющий разряд и сменные экраны
• Адаптер для крио наплыления (VCT - Vacuum Cryo Transfer system)