Спектроскопические (спектральные) рефлектометры RM 1000 и RM 2000

Спектральные рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света.
Измерение показателя преломления и толщины пленок и абсорбции на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.д.) 

Спектральный диапазон:
RM 1000:  430-930 нм. 
RM 2000:  200 - 1000 нм.

В область измерений, осуществляемых данными приборами, входят измерения однослойных и многослойных покрытий на полупроводниках, стекле, пластике, металле и глянцевой бумаге

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или многослойных прозрачных и полупрозрачных пленок в производстве или лаборатории.

Особенности

• Измерение пленок как на гладких так и на шероховатых поверхностях.
• Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 5 до 50000 нм (в зависимости от модели).
• Размер пятна измерения 80 и 100 мкм, что позволяет проводить измерения напластине с топологией

• Высокая стабильность и точность при измерении. 

• Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).

• Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.

• Дружественный интерфейс и легкость работы.
• Высокая скорость измерений

• Программное обеспечение FTPadv EXPERT SENTECH для проведения измерений, включающее в себя библиотеку приложений

  n, k массивного материала

  толщина монослоев

  толщина и индекс преломления монослоев

  толщина  и  индекс  преломления  верхнего  слоя и многослойной структуры

• Большая база данных материалов для измерений
• Опции:

  - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

  - Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

  - ПО для иммитационного моделирования (SpectraRay/3)

  - Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном)