Комбинированный лазерный эллипсометр-рефлектометр CER SE 500adv

CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия)

Точное определение толщины

Комбинация эллипсометрии и рефлектометрии позволяет быстро и однозначно определять толщину прозрачных пленок путем автоматического определения периода циклической толщины.

Самый большой диапазон измерения

Комбинация лазерного эллипсометра и рефлектометра расширяет диапазон толщины прозрачных пленок до 25 мкм и более в зависимости от варианта фотометра.

Раздвиньте границы лазерной эллипсометрии

Многоугловой ручной гониометр с превосходными характеристиками и угловой точностью позволяет измерять показатель преломления, коэффициент экстинкции и толщину пленки одиночных пленок и пакетов слоев.

SE 500adv сочетает в себе эллипсометрию и рефлектометрию , чтобы устранить неоднозначность измерения толщины слоя прозрачных пленок. Он увеличивает измеряемую толщину до 25 мкм . Таким образом, SE 500adv расширяет возможности стандартного лазерного эллипсометра SE 400adv, особенно для анализа более толстых пленок диэлектриков, органических материалов, фоторезистов, кремния и поликремния.

SE 500adv может работать как лазерный эллипсометр , как датчик толщины пленки и как эллипсометр CER . Следовательно, он предлагает максимальную гибкость, недостижимую для стандартных лазерных эллипсометров. Работает как эллипсометр, может выполнять одно- и многократные угловые измерения. При работе в качестве датчика толщины пленки толщина прозрачной или слабопоглощающей пленки измеряется при нормальном падении.

Комбинация эллипсометрии и рефлектометрии в SE 500adv включает в себя эллипсометрическую оптику, гониометр, комбинированную измерительную головку отражения и автоколлимационный телескоп, платформу для образцов, гелий-неоновый лазерный источник, блок обнаружения лазерного излучения и фотометр.

Варианты SE 500adv поддерживают приложения в микроэлектронике, технологии микросистем, технологиях отображения, фотогальванике, химии и других областях.

Особенности

• Комбинированная система включающая лазерный эллипсометр и рефлектометр FTPadv с одном инструменте.
• Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 1 до 25000 нм.

• Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (HeNe лазер, 632,8 нм.), термостабилизированный компенсатор, управление поляризатором, детектор сверх низких шумов. 

• Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).

• Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SENTECH. 

• Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
• Дружественный интерфейс и легкость работы.
• Высокая скоростьизмерений

• Программное обеспечение SENTECH для проведения эллипсометрических измерений, включающее в себя библиотеку приложений

  n, k массивного материала

  толщина монослоев

  толщина и индекс преломления монослоев

  толщина  и  индекс  преломления  верхнего  слоя двойного слоя

  заданные эллипсометрические приложения

• Опции:

  - 30 мкм микроспот (фокусировка пятна)

  - Столик с ручной регулировкой x-y (перемещение - 150 мм) для картирования (mapping)

  - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

  - Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

  - Жидкостная ячейка

  - Автофокусировка в комбинации с моторизованным столиком для выравнивания образцов

  - Рефлектометр (Film Thickness Probe) FTPadv с диаметром пятна 80 мкм.

  - ПО для иммитационного моделирования (SIMULATION Software)

  - Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном)