Автоматический спектроскопический эллипсометр SENDURO

Автовыравнивание

Полностью автоматизированная спектроскопическая эллипсометрия , реализованная в эллипсометре SENDURO®, освобождает пользователя от ручного выравнивания образца по высоте и наклону, необходимых для высокоточной и воспроизводимой спектроскопической эллипсометрии . Запатентованный датчик автоматического выравнивания значительно снижает количество ошибок при работе, работает с прозрачными и отражающими образцами и делает возможным автоматическое построение карт даже на изогнутых пластинах.

Простота в эксплуатации

Режим рецепта идеально подходит для рутинных задач на производстве, мониторинга процессов, а также для исследований и разработок . Эта система спектроскопической эллипсометрии поставляется с рядом готовых к использованию рецептов, которые можно модифицировать в соответствии с вашими конкретными потребностями.

Принцип действия анализатора пошагового сканирования

Принцип действия анализатора пошагового сканирования является уникальной особенностью спектроскопической эллипсометрии SENTECH. Общее время анализа образца занимает всего несколько секунд.

SENDURO ^® измеряет показатель преломления и толщину отдельных пленок и пакетов слоев на прозрачных и отражающих подложках. Высокая пропускная способность, минимальные затраты на установку и низкие затраты на техническое обслуживание являются реальными экономическими преимуществами картографического инструмента. Картографирование этого инструмента спектроскопической эллипсометрии включает предопределенные или определяемые пользователем шаблоны, обширную статистику и графическое отображение данных.

SENDURO® представляет собой автоматизированный, компактный и компактный эллипсометр SENTECH ^. Настольный прибор включает в себя эллипсометрическую оптику, автоматический датчик наклона и высоты, моторизованный предметный столик и электронику контроллера, объединенные в одном компактном корпусе. Для максимальной производительности наших инструментов для спектроскопической эллипсометрии предлагается кассетная загрузка пластин размером до 300 мм .

SENDURO ^® превосходно подходит для промышленного применения благодаря своей пропускной способности, простоте эксплуатации и автоматическому выравниванию. Область применения варьируется от диэлектрических пленок на полупроводниках до многослойных оптических покрытий на стекле.

Программное обеспечение SENDURO® для превосходной спектроскопической эллипсометрии имеет режим рецепта и инженерный режим. Режим рецепта предназначен для простого выполнения повторяющихся приложений. Логин пользователя, контролируемый паролем, допускает различные уровни превышения. В интерактивном режиме эллипсометрические измерения дополнены интерактивным направляющим графическим интерфейсом пользователя. Кроме того, можно изменить уже существующие рецепты или создать новые рецепты, используя большую базу данных материалов и моделей дисперсии.