Система пробоподготовки для электронных микроскопов Ion Slicer EM-09100IS

Инновационный метод подготовки образцов для электронной микроскопии: СЭМ, ПЭМ и другие.

Ion Slicer может подготавливать тонкопленочные образцы без растворителей или химикатов и не требует предварительной обработки образца, кроме прямоугольных срезов (без шлифовки диском или шлифовки углублений).

Ion Slicer подготавливает тонкопленочные образцы быстрее и проще, чем обычные инструменты для подготовки. Низкоэнергетический пучок ионов аргона под малым углом облучает образец, в то время как тонкий защитный пояс позволяет облучать ионный пучок аргона под малым углом (от 0° до 6°), что значительно снижает повреждение образца ионным пучком. В результате получается высококачественная тонкая пленка с небольшим количеством артефактов распыления даже в мягких материалах. Ion Slicer может эффективно изготавливать тонкие пленки из образцов различного состава, даже из пористых композитов.

Процедура пробоподготовки включает в себя следующие шаги: 

1) Отрезка образца.

От исследуемого объекта должен быть отрезан образец длинной 2.8 мм и шириной 0.8 мм. 

2) Утонение образца.

На следующем этапе требуется утонение образца до толщины 0.1 мм. 

3) Ионное утонение.

После того, как образец приведен к размерам 2.8 мм длины, 0.8 ширины и 0.1 толщины, он помещается в держатель и запускается процесс травления. Длительность травления, в среднем, составляет около двух часов и зависит от условий, в которых проводится обработка.

Процесс утонения контролируется по изображению, получаемому с CCD-камеры, и управляется при помощи персонального компьютера.

Ion Slicer крайне эффективен для обработки мягких материалов, неоднородных твердых растворов, минералов, композитов, керамик, пористых структур и т.п.