Аналитическое и исследовательское оборудование
+375 (29) 132-55-65
+375 (17) 360-55-65
Отправка с 29 ноября 2025Цену уточняйте
Принадлежность столика auto Y-theta устанавливается в отделение для образцов FT/IR-4000 или FT/IR-6000 для измерения толщины тонких пленок, нанесенных на кремниевые пластины, с использованием отражения или пропускания ИК-излучения.
В комплект входит 12-дюймовый планшет* со специальным программным обеспечением для картирования.
* Также доступны дополнительные держатели для 8-дюймовых, 6-дюймовых, 5-дюймовых и 4-дюймовых пластин.
| Инструмент | FT/IR-4000 или FT/IR-6000 (не вакуумного типа) |
| Режим измерения | Передача и отражение (центр угла падения: 15°) |
| Варианты измерения | Одноточечное, решетчатое отображение, радиальное отображение |
| Размер пятна | Регулируется по апертуре |
| Подвижный диапазон | Y: 0–168 мм, тета: 180–180° |
| Точность | Y: +/- 0,5 мм, тета: +/- 0,19° |
| Удалять | да |
| Поляризация | Вариант |
| Коммуникация | USB 2.0 |
| Размер и вес | (В) 408 мм, (Ш) 377 мм, (Г) 433 мм, 14 кг |
Расчет толщины пленки производится с использованием преобразования Фурье «пространственной диаграммы», сложная интерференционная картина может использоваться для измерения толщины нескольких слоев (теоретически это не ограничено, но практическое ограничение обычно составляет от 15 до 20 слоев, в зависимости от на RI каждого слоя.Пример, показанный здесь, представляет собой образец, состоящий из 19 слоев.
Отражение «Пространственная диаграмма», частотное разделение с помощью БПФ
Толщина каждого слоя рассчитывается по положениям пиков.
| Инструмент | FT/IR-4000 или FT/IR-6000 (не вакуумного типа) |
| Режим измерения | Передача и отражение (центр угла падения: 15°) |
| Варианты измерения | Одноточечное, решетчатое отображение, радиальное отображение |
| Размер пятна | Регулируется по апертуре |
| Подвижный диапазон | Y: 0–168 мм, тета: 180–180° |
| Точность | Y: +/- 0,5 мм, тета: +/- 0,19° |
| Удалять | да |
| Поляризация | Вариант |
| Коммуникация | USB 2.0 |
| Размер и вес | (В) 408 мм, (Ш) 377 мм, (Г) 433 мм, 14 кг |
Система измерения толщины пленки на пластинах AYT-4000